| 寸法 | 64mm × 55mm × 62mm(W.D.H) |
|---|---|
| 重量 | 約550g |
| ステージ仕様 | ◎粗動
X軸15mm、Y軸15mm、Z軸10mm 粗動分解能 10nm(クローズ制御時) 約500nm以下(オープン制御時) ◎微動 XYZ軸 1.0μm (分解能1nm以下) |
| 構成 | NMS（1台～）+ 制御PC + コントロールボックス１式 |
|---|---|
| 特徴 | リニアエンコーダを内蔵し位置情報によるクローズ制御が可能な為、全軸フルストロークにおいて10nmオーダーで位置決めが可能。 |
| 構成 | NMS（1台～）+ コントロールボックス１式 |
|---|---|
| 特徴 | リニアエンコーダを除いたシンプルな構成。低価格でナノ領域の作業を行いたい場合、コントロールボックスでNMSのX/Y/Z軸を駆動。 |
