株式会社三友製作所

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製品紹介

詳細仕様

型式 MPE-510
装置寸法 装置全体:200 mm (W) ×800 mm (D) × 1800 mm (H)
重量:300 kg
真空チャンバ:420 mm (W) × 510 mm (D) × 386.5 mm (H)
ステージ仕様
軸ステージ(X,Y,Z,θx,θy)
ストローク:X = 40 mm, Y = 130 mm, Z = 10 mm, θx, θy = ± 1°
分解能:X, Y, Z ≦ 5μm θx, θy ≦ 0.1°
搭載可能サンプル パッケージ品:14 mm, 20 mm, 24 mm
チップ品:6.5 mm, 10 mm, 15 mm
仕様ガス CF4 (0.1 MPa) , N2 (0.2 MPa), D.A (0.5MPa)
真空ポンプ スクロールポンプ (250 L)
プラズマ仕様 RF出力50 W
アルミナチューブ先端径(プラズマ径)0.5 mm ~ 4 mmの任意の径に対応

主な用途

・半導体デバイスの局所的な絶縁膜除去
・FIB加工の前処理
・その他各種プラズマ処理

加工例

PIQ厚膜の局所除去
PIQ厚膜の局所除去

LSI 配線露出
LSI 配線露出