株式会社三友製作所

TEL0294-72-2245
FAX0294-73-0459
メールでのお問い合わせ

製品紹介

詳細仕様
寸法 64mm×55mm×62mm(W.D.H)
重量 約550g
ステージ仕様 ◎粗動
 X軸15mm、Y軸15mm、
 Z軸10mm
 粗動分解能 10nm(クローズ制御時)
 約500nm以下(オープン制御時)

◎微動
 XYZ軸 1.0μm
 (分解能1nm以下)
型式
<NMS110LE>
構成 NMS(1台~)+制御PC
+コントロールボックス1式
特徴 リニアエンコーダを内蔵し位置情報によるクローズ制御が可能な為、
全軸フルストロークにおいて10nmオーダーで位置決めが可能。
<NMS110S>
構成 NMS(1台~)+コントロールボックス1式
特徴 リニアエンコーダを除いたシンプルな構成。低価格でナノ領域の作業を行いたい場合、コントロールボックスでNMSのX/Y/Z軸を駆動。
SPPA搭載
SPPA(Super Precision Piezo Actuator)とは、1つの圧電素子にて連続ステップ動作(粗動)、
圧電素子の直接動作(微動)が可能なアクチュエータです。
NMS概略図
NMS概略図

主な用途

・電気特性評価
・異物のピックアップ等

多彩なカスタム性

・電子顕微鏡に複数ユニットを搭載して多彩な
 用途に対応
・光学顕微鏡とシステム化することにより
 大気中での微細作業に対応可能