株式会社三友製作所

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SEM用特殊ステージ

マルチプローバ

お客様御指定の電子顕微鏡に最大4プローバまで搭載可能な精密位置決めステージを搭載することで多軸化を図り様々な用途に対応することが可能。

詳細仕様

◎大型ステージ:ジョイスティックにて動作

粗動(超音波モータ) XY軸 ±10 mm(分解能10 nm)
粗動(手動マニュアル) Z軸 0~20 mm(WD5~25 mm)
粗動(DCモータ) θ軸 360°(回転)
微動(PZT素子) XY軸 1 μm(分解能1 nm以下)
試料サイズ 10 × 10 mm

◎プローブユニット:ジョイスティックにて動作

粗動(超音波モータ) XY軸 ± 7.5 mm
Z軸 10 mm(分解能10 nm)
微動(PZT素子) XYZ軸 1 μm(分解能1 nm以下)
カスタム例 加熱機構、電圧印加・計測機能等
主な用途

・EBAC解析
・OBRICH解析
・ナノ材料の研究ツール

使用例

LSIへのプロービング
LSIへのプロービング

EBAC解析
EBAC解析

微粒子のピックアップ
微粒子のピックアップ

ナノワークステージ

2つの独立ステージを精密位置決めすることで 協調作業を行い、ナノ領域の評価・実験・微細作業を
実現する多機能ステージ。

詳細仕様
粗動部 マイクロメータヘッドにて動作
X軸 ± 10 mm, Y軸 ±5 mm
Z軸 ± 2.5 mm, R軸 ± 30°
微動部 PZT素子
(ジョイスティックにより操作)
XYZ軸 ± 5 μm(分解能2 nm 以下)
カスタム例 加熱機構、電圧印加機能等

主な用途

・その場観察
・材料の電気
・機械的特性評価

実験例

  • ガリウムの加熱試験
    ガリウムの加熱試験
  • CNTプローブのアプローチ
    CNTプローブのアプローチ
  • CNTの架橋実験
    CNTの架橋実験