株式会社三友製作所

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製品紹介

日立ハイテクノロジーズ製TEM/STEM用特殊ホルダー

ホルダー内部に搭載したプローブを専用のピエゾコントローラにて
XYZ軸の微動制御が可能なホルダーです。
本ホルダーは、株式会社 日立ハイテクノロジーズ製TEM/STEMに対応した特殊ホルダーです。

詳細仕様

  可動範囲
X軸 Y,Z軸
プローブ粗動機構 +0.5mm,-3.0mm -
微動機構 ±1μm ±7μm
分解能 1nm以下

※対応する装置により、FIB共用機構や200kV/300kV共用機構が搭載可能です。

基本構成

・ホルダー本体
・ホルダー専用収納ケース
・ホルダースタンド
・ピエゾコントローラ
・消耗品類

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本ホルダーに関するお問い合わせは、株式会社三友製作所になります。