株式会社三友製作所

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製品一覧

  • ナノマニピュレーションステージ

    ナノマニピュレーションステージ

    ゼロバックラッシュのオリジナルアクチュエータを用いた ナノオーダの
    分解能を有する3軸プローバ

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  • 大気用マルチプローバ

    大気用マルチプローバ

    大気中での半導体故障解析や微細作業を可能とするプローバシステム

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  • SEM用特殊ステージ

    SEM用特殊ステージ

    電子顕微鏡内の微細空間における微細作業を可能にする
    オリジナルシステムの開発

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  • 特殊TEMホルダー

    特殊TEMホルダー

    お客様ご要望の特殊TEMホルダーの開発から製造まで可能

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  • 卓上プラズマエッチング装置

    卓上プラズマエッチング装置

    卓上型の小型装置で容易にプラズマエッチング可能

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  • マイクロプラズマ加工装置

    マイクロプラズマ加工装置

    吸引プラズマエッチングの自動化装置

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