事業案内
製品一覧
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ナノマニピュレーションステージ
ゼロバックラッシュのオリジナルアクチュエータを用いた ナノオーダの
分解能を有する3軸プローバ -
大気用マルチプローバ
大気中での半導体故障解析や微細作業を可能とするプローバシステム
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SEM用特殊ステージ
電子顕微鏡内の微細空間における微細作業を可能にする
オリジナルシステムの開発
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特殊TEMホルダー
お客様ご要望の特殊TEMホルダーの開発から製造まで可能
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卓上プラズマエッチング装置
卓上型の小型装置で容易にプラズマエッチング可能
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マイクロプラズマ加工装置
吸引プラズマエッチングの自動化装置
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